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  • Bruker FilmTek CD橢偏儀
    Bruker FilmTek CD橢偏儀 ——多模態臨界尺寸測量和先進薄膜計量學 FilmTekTM CD光學臨界尺寸系統是我們解決方案，可用于1x nm設計節點及更高級別的全自動化、高通量CD測量和高級薄膜分析。該系統同時提供已知和*未知結構的實時多層堆疊特性和CD測量。 FilmTek CD利用多模測量技術來滿足與開發和生產中最復雜的半導體設計特征相關的挑戰性需求。
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