控制系統

手動控制

PCCE 控制系統

工藝氣路

雙路或三路氣體

工藝氣體

O2，Ar，N2，CO2，H2，Air等非腐蝕性氣體或者CF4 、SF6等腐蝕性氣體

單體導入

H2O，親疏水涂層等單體（選配）

流量計

針閥流量計（防腐蝕）

MFC流量計（防腐蝕）

真空

腔體

材質

高硼硅玻璃/石英

蓋子門/鉸鏈門帶觀察窗

不銹鋼

蓋子門/鉸鏈門帶觀察窗

鋁合金

鉸鏈門帶觀察窗

圓形腔體內尺寸(Φ×D)mm

95×280( 600)

100×278( 600)

—

方形腔體 內尺寸 （W×D×H）mm

—

103×285( 600)×103 mm

110×300( 600) ×120

容積

2 L~4.2L

2.2L~6.4L

4L~8L

電極

360度外置環繞電極

平行平板電極

發生器*

40KHz     0~100 W

100KHz    0-500W

13.56MHz  0~50 W 或者0~300 W

2.45GHz   0-300W

真空壓力計

指針式壓力計

皮拉尼數字式壓力計

計時器

模擬數字式

數字式

托盤

高硼硅玻璃/石英，不銹鋼

外形尺寸（WXDxH）mm

310-560x420-600x330-860mm

電源

AC220V 50Hz 10A

真空泵

排氣速度不小于4m3/H